เครื่องเคลือบแบบหมุนดิจิตอลอัตโนมัติและเครื่องเคลือบแบบหมุนสูญญากาศ ท่าอากาศยานนานาชาติ-วีทีซี-100A ออกแบบมาสำหรับเวเฟอร์ขนาด 4 นิ้วและพื้นผิวที่ไม่สม่ำเสมอ เครื่องเคลือบแบบหมุนดิจิตอลอัตโนมัติและเครื่องเคลือบแบบหมุนสูญญากาศใช้ถาดของเหลวโพลีโพรพีลีนที่ทนต่อการกัดกร่อนและถ้วยดูดสูญญากาศสามขั้นตอน และรองรับการควบคุมความเร็วรอบแบบตั้งโปรแกรมได้สองขั้นตอนจาก 500 ถึง 8,000 รอบต่อนาที โดยมีความแม่นยำ ±1% เครื่องเคลือบแบบหมุนดิจิตอลอัตโนมัติและเครื่องเคลือบแบบหมุนสูญญากาศผสานอินเทอร์เฟซปั๊มสูญญากาศแบบปลอดน้ำมันและที่ยึดเข็มฉีดยาที่ปรับได้ เหมาะสำหรับวัสดุโซลที่มีความหนืด 0.5 ถึง 5,000cPs เวลาในการเคลือบครั้งเดียวปรับได้ 1 ถึง 60 วินาที มาตรฐานพร้อมตัวเลือกเทปกาวและถ้วยดูดขนาดเล็ก เข้ากันได้กับพื้นผิวที่ไม่สม่ำเสมอขนาด 5 × 5 มม. ถึง 10 × 10 มม. ความสม่ำเสมอของความหนาของฟิล์ม ± 2% น้ำหนักเครื่อง 15 กก. ขนาด 330 x 254 x 216 มม. เสียบปลั๊กแล้วใช้งานได้เลย เพื่อตอบสนองความต้องการการเคลือบเซมิคอนดักเตอร์ เมมส์ และฟิล์มบางออปติกอย่างมีประสิทธิภาพ
พารามิเตอร์
รุ่นสินค้า | ออโตเมติก-วีทีซี-100A |
โครงสร้าง | เคสหล่ออลูมิเนียมเพื่อให้หมุนได้มั่นคง แผ่นของเหลวทำจากโพลีโพรพีลีน (พีพี) เพื่อทนต่อสารละลายกัดกร่อนส่วนใหญ่ ช่องระบายน้ำและขั้วต่อปั๊มสุญญากาศอยู่ที่แผงด้านหลัง แพ็คเกจมาตรฐานมีตัวกรองหนึ่งตัว ใช้สำหรับเชื่อมต่อเครื่องเคลือบเพื่อป้องกันไม่ให้น้ำเสียไหลเข้าไปในปั๊ม ปั๊มสุญญากาศแบบไร้น้ำมันหนึ่งตัวรวมอยู่ในแพ็คเกจมาตรฐาน โปรดคลิกที่นี่เพื่อดูรายละเอียดข้อมูลจำเพาะ |
ห้องและหัวจับสูญญากาศ | เส้นผ่านศูนย์กลางห้อง : 145 มม. ชุดหัวจับสูญญากาศป้องกันการกัดกร่อน พีพี จำนวน 3 ชุด พร้อมโอริงหัวจับ มีขนาดแตกต่างกัน (1'', 2'' และ 4'') มีเทปกาว 1 ชิ้น (กว้าง 6 นิ้ว x ยาว 24 นิ้ว) สำหรับเคลือบวัสดุพิมพ์ที่มีรูปร่างไม่สม่ำเสมอ (เช่น วางวัสดุพิมพ์ที่มีรูปร่างไม่สม่ำเสมอบนเทปกาว จากนั้นเครื่องดูดสูญญากาศจะยึดเทปด้วยแรงดูด) มีถ้วยดูดขนาดเล็กสำหรับเวเฟอร์ขนาดเล็กที่มีเส้นผ่านศูนย์กลางน้อยกว่า 1d" หรือพื้นผิวที่มีรูปร่างปกติ (5x5 หรือ 10x10 มม.) หรือรูปร่างไม่สม่ำเสมอ โปรดคลิกที่นี่เพื่อสั่งซื้อ โดยมีค่าใช้จ่ายเพิ่มเติม (ดูรูปภาพด้านล่างขวา) |
ปั๊มสุญญากาศ (ไม่รวม) | ตั้งแต่วันที่ 09/07/2022 เป็นต้นไป ปั๊มสุญญากาศไร้น้ำมัน 120L/นาที จะไม่รวมอยู่ด้วย ท่อยางเกรดสูญญากาศรวมอยู่ด้วยเพื่อใช้งานได้ทันที |
ความเร็วในการหมุนและเวลา | แผงควบคุมแบบดิจิตอลพร้อมส่วนตั้งโปรแกรมได้ 2 ส่วนสำหรับเวลาปั่นและความเร็วที่แตกต่างกัน ความเร็วในการปั่น : 500 – 8000 รอบต่อนาที เวลาในการปั่น: 1 - 60 วินาที |
การฉีดของเหลว | ใช้เข็มฉีดยาขนาด 20 มล. เพื่อบรรจุสารเคลือบ ความสูงของที่วางกระบอกฉีดยาสามารถปรับและหมุนได้อย่างอิสระตามแกนรองรับ |
แรงดันไฟฟ้าขาเข้า | เครื่องเคลือบแบบหมุน: 24 วีดีซี พร้อมอะแดปเตอร์ไฟ 100 - 240 แวค, 150W ปั๊มสูญญากาศ: 110VAC หรือ 220VAC โปรดเลือกแรงดันไฟฟ้าในแถบตัวเลือก (ฟิวส์ 10A) |
กำลังมอเตอร์ | มอเตอร์ ดีซี 24V กำลังไฟสูงสุด 150W |
ขนาดสินค้า | 330.2 มม. (ยาว) x 254 มม. (กว้าง) x 215.9 มม. (สูง) |
น้ำหนัก | 15 กก. |
การจัดแสดงสินค้า
เครื่องเคลือบแบบหมุนดิจิตอลอัตโนมัติและเครื่องเคลือบแบบหมุนสูญญากาศสำหรับการเคลือบแบบหมุนในห้องปฏิบัติการ
เครื่องเคลือบแบบหมุนดิจิทัลอัตโนมัติและเครื่องเคลือบแบบหมุนสุญญากาศ ท่าอากาศยานนานาชาติ-วีทีซี-100A เวเฟอร์ขนาด 4 นิ้วโดยเฉพาะ การตั้งโปรแกรมสองขั้นตอน 500-8,000 รอบต่อนาที ถ้วยดูดสุญญากาศ พีพี ทนต่อการกัดกร่อน ใช้งานได้กับสารเคลือบโซลเจลพื้นผิวไม่สม่ำเสมอ การควบคุมความหนาของฟิล์มที่มีความแม่นยำสูงระดับห้องปฏิบัติการ การออกแบบกะทัดรัดแบบปลั๊กแอนด์เพลย์
ท่าอากาศยานนานาชาติ นิทรรศการอุปกรณ์แบตเตอรี่ลิเธียมเป็นเวทีแสดงสินค้า แลกเปลี่ยน ความร่วมมือ และการค้าที่ครอบคลุมสำหรับผู้เข้าร่วมแสดงสินค้าและผู้เยี่ยมชม โดยการเข้าร่วมนิทรรศการนี้ บริษัทต่างๆ จะเข้าใจพลวัตของอุตสาหกรรม ขยายช่องทางการตลาด เสริมสร้างภาพลักษณ์ของแบรนด์ และส่งเสริมนวัตกรรมเทคโนโลยีและการยกระดับอุตสาหกรรม
คำถามที่ 1: ฉันจะใส่วัสดุพิมพ์ขนาด 3" หรือขนาดที่ไม่ใช่มาตรฐานได้อย่างไร
A: ใช้เทปกาวมาตรฐานเพื่อยึดวัสดุเข้ากับถ้วยดูดขนาด 4 นิ้ว หรือถ้วยดูดขนาดเล็กที่กำหนดเองตามต้องการ (5x5 มม. ถึง 10x10 มม.) เพื่อให้แน่ใจว่าการเคลือบมีเสถียรภาพผ่านการติดสูญญากาศ
คำถามที่ 2: ปั๊มสุญญากาศแบบปราศจากน้ำมันทำงานอย่างไรหากไม่มีเครื่องเคลือบแบบหมุนขนาดกะทัดรัดรวมอยู่ด้วย?
A: ควรซื้อปั๊มสุญญากาศที่เข้ากันได้ (อัตราการไหลที่แนะนำ ≥ 120L/นาที) เพิ่มเติมและเชื่อมต่อผ่านอินเทอร์เฟซที่ด้านหลังของเครื่องเพื่อให้แน่ใจว่าระดับสุญญากาศอยู่ที่ ซู่ๆๆ -80kPa เพื่อให้แน่ใจว่าการดูดซับของสารตั้งต้นมีเสถียรภาพ
คำถามที่ 3: เครื่องเคลือบแบบสปินขนาดกะทัดรัดเหมาะสำหรับสารละลายที่มีความหนืดสูง (>5000cPs) หรือไม่
A: ขอแนะนำให้ใช้เครื่องเคลือบแบบหมุนขนาดกะทัดรัดเพื่อลดความเร็วในการหมุนเป็น 500-2000 รอบต่อนาที และยืดเวลาการเคลือบให้มากกว่า 30 วินาที และหากจำเป็น ให้อุ่นโซลล่วงหน้าที่อุณหภูมิ 25-30℃ เพื่อปรับปรุงความลื่นไหล
คำถามที่ 4: จะทำความสะอาดถาด พีพี เพื่อหลีกเลี่ยงการปนเปื้อนข้ามได้อย่างไร
A: หลังจากเคลือบเสร็จแล้ว ให้ล้างออกด้วยน้ำที่ผ่านการดีไอออน สำหรับระบบตัวทำละลายอินทรีย์ ให้ใช้เอธานอลในการทำความสะอาดด้วยคลื่นอัลตราโซนิกเป็นเวลา 5 นาที และห้ามใช้กรดและด่างเข้มข้นในการเช็ดโดยเด็ดขาด
คำถามที่ 5: สามารถปรับช่องใส่เข็มฉีดยาให้มีขนาด 50 มล. ได้หรือไม่?
A: ฐานวางมาตรฐานรองรับไซริงค์ขนาด 20 มล. สำหรับปริมาณที่มากขึ้น สามารถปรับความสูงของฐานวางและกำหนดได้ด้วยตนเอง และขอแนะนำให้ฉีดของเหลวในปริมาณน้อยเพื่อให้แน่ใจว่ามีการเคลือบที่สม่ำเสมอ
